ライトエッジ No.23　[特集号]ウシオの露光装置

ウシオの露光装置は、高密度実装分野においてエレクトロニクスやＩＴ産業を支える一方、マイクロマシンに代表されるように、ナノテクノロジーの超微細加工技術の研究開発にも貢献しています。このような観点から、ウシオ（グループ、OB含む）のみならず、産・学を代表する方々にも執筆いただきました。

（2001年11月 発行）

第1章
まえがき PDF（16KB）

• 1.1　ウシオの露光装置特集にあたって

第2章
アプリケーション例と使われる装置 PDF（307KB）

• 2.1　アプリケーション例と使われる装置
• 2.2　TABの市場･技術動向

第3章
マルチメディア製品を支えるウシオの露光装置 PDF（326KB）

• 3.1　露光装置とは
• 3.2　ウシオの露光装置

第4章
露光装置の要素技術 PDF（430KB）

• 4.1　光源
• 4.2　照明系
• 4.3　結像系
• 4.4　アライメント系
• 4.5　搬送系
• 4.6　制御系

第5章
ウシオの「光」装置開発の歴史 PDF（847KB）

• 5.1　はじめに/開発年表
• 5.2　露光装置開発前史
• 5.3　高性能照明ユニットの開発
• 5.4　露光装置への展開

第6章
特別寄稿 PDF（187KB）

• 6.1　マイクロマシンと露光

あとがき PDF（15KB）