ライトエッジ No.24

各社との共同研究成果を含む学会発表、専門誌への投稿、さらに共同研究で関連した他社論文発表で特に関係の深いもの、また、ウシオで開催された講演会などをご紹介しています。

（2002年4月 発行）

NMES国際シンポジウム（2001年7月）
Modification of Nafion by low dose electron beam exposure for use as a polymer electrolyte membrane for DMFC PDF（343KB）

第50回 高分子討論会（2001年9月）
Nafion Based Polymer Electrolyte Membranes For Improved Direct Methanol Fuel Cell Performance PDF（363KB）

ISSM（2001年10月）
Advanced EB-Cure Process and Equipment for Low-k Dielectric PDF（496KB）

2001 International Conference on Solid State Devices and Materials（2001年9月）
Flash Lamp Anneal Technology for Effectively Activating Ion Implanted Si PDF（500KB）

2001 International Conference on Solid State Devices and Materials（2001年9月）
Novel PZT Crystallization Technique by Using Flash Lamp for FeRAM Embedded LSIs and 1 Tr FeRAM Devices PDF（546KB）

神戸市立工業高等専門学校（2001年6月）
エキシマランプの産業応用 PDF（334KB）

第16回 生体機能開発関連化学部会シンポジウム（2002年9月）
メタルハライドランプを用いた癌の光線力学療法 PDF（370KB）

第11回 マイクロエレクトロニクスシンポジウム（2001年10月）
高重ね合わせ精度に対する分割投影露光機スケーリングの効果 PDF（443KB）

「マイクロマシン/MEMS徹底解剖」セミナー（2001年10月）
マイクロマシン/MEMS用露光技術と装置 PDF（460KB）

Journal of Electrochemical Society
Modified Nafion 117 as an Improved Polymer Electrolye Membrane for Direct Methanol Fuel Cells PDF（599KB）

塗装技術10月号
低加速電圧・超小型EB照射装置の適用 PDF（619KB）

レーザー研究10月号
リソグラフィ用EUV光源 PDF（605KB）

月刊ディスプレイ11月号
プロジェクター用光源の現状と今後の展開 PDF（591KB）

表面実装マガジン
TAB露光装置 PDF（612KB）

電子材料10月号
分割投影露光装置 PDF（661KB）

2001 International Conference on Solid State Devices and Materials（2001年9月）
High-Performance Low-k Dielectric Using Advanced EB-Cure Process PDF（448KB）

ポストSMT化を狙う電子部品内蔵基板技術のその後 PDF（539KB）

露光装置に求められる課題と分割投影露光装置の開発コンセプト PDF（735KB）

九州大学大学院　工学研究院　材料工学部門　本岡輝昭教授
未来を担う新機能材料 PDF（675KB）