ライトエッジ No.26

2002年末に発表し、大きな反響を呼んだ半導体先端パッケージ用ステッパ「UX-7」など露光装置関連に加え、医療分野の投稿、学会発表などをご紹介します。

（2003年8月 発行）

マイクロエレクトロニクスショー（2003年4月）
半導体パッケージ用ステッパ「UX-7シリーズ」 PDF（133KB）

第9回 電子回路世界大会（2002年10月）
Predominance of Projection Exposure System to Contact Exposure System for the Manufacture of Prented Wired Board PDF（404KB）

第6回 SEMIマイクロシステム/MEMSセミナー（2002年12月）
大面積投影露光装置 PDF（90KB）

Electronic journal 第52回 Technical Symposium（2002年10月）
マイクロマシン/MEMS用露光技術と露光装置 PDF（1092KB）

電気情報通信学会 シリコンデバイス研究会（2002年3月）
フラッシュランプを用いた新しいPZT膜結晶化技術 PDF（517KB）

平成14年度 照明学会 全国大会（2002年8月）
希ガス蛍光ランプのエネルギーバランスの見積もり PDF（476KB）

第13回 光線力学学会（2003年3月）
Na-Liランプを用いたALA-PDT用光源装置の開発 PDF（467KB）

第13回 光線力学学会（2003年3月）
PDT用メタルハライドランプの開発 PDF（615KB）

エレクトロニクス実装技術（2003年6月号）
フレキシブル基板用ロールtoロール露光装置 PDF（146KB）

光技術コンタクト（2003年4月号）
エキシマランプと光洗浄 PDF（366KB）

光技術動向調査委員会 平成14年調査報告書（2003年3月）
ディスプレイ-コンポーネント PDF（50KB）

月刊ディスプレイ（2003年7月号）
札幌シネマフロンティアのデジタルシネマプロジェクタ PDF（247KB）

姫路工業大学　高度産業科学研究所　所長　望月孝晏教授
SPring-8とニュースバルの連携が創り出す光の新技術 PDF（328KB）