ライトエッジ No.29

フラッシュランプを用いた瞬間熱処理技術の関連論文を中心に、2006年に各学会や研究会で発表した論文13件、専門誌への投稿論文4件をご紹介します。

（2007年8月 発行）

電子ジャーナルセミナー「プリント配線板パターン形成技術徹底解説」 (2006年8月)
プリント配線板露光技術の最新動向 PDF（3.9MB）

2007電子回路基板技術大全（電子ジャーナル） (2006年11月)
FPC用露光装置 UX-3100SR／UFX-2458B PDF（19KB）

電子材料（工業調査会） (2006年11月号)
フォトレジスト塗布・露光・現像プロセスについて PDF（252KB）

月刊コンバーテック（加工技術研究会） (2006年8月)
スプレーコータのMEMS製造における役割とコーティング用途への可能性 PDF（492KB）

第67回応用物理学会学術講演会 (2006秋季)
瞬間熱処理法によるボトムゲート型TFT用Si薄膜の結晶化 PDF（233KB）

第54回応用物理学会学術講演会 (2007春季)
フラッシュランプアニールにより形成した高品質多結晶シリコン薄膜 PDF（260KB）

第54回応用物理学会学術講演会 (2007春季)
フラッシュランプアニールによるアモルファスシリコン薄膜の面内均一結晶化 PDF（273KB）

第54回応用物理学会学術講演会 (2007春季)
フラッシュランプアニールにより形成した多結晶シリコン薄膜の結晶性の調査 PDF（58KB）

第54回応用物理学会学術講演会 (2007春季)
フラッシュランプアニールにより形成された多結晶Si薄膜への高圧水蒸気熱処理 PDF（41KB）

21st European Photovoltaic Solar Energy Conference (2006.9)
A NEW TYPE POLY-Si PREPARED BY FAST LAMP ANNEALING OF Cat-CVD a-Si AND ITS DEFECT PASSIVATION BY HIGH PRESSURE WATER VAPOR ANNEALING PDF（686KB）

4th International Conference on Hot-Wire CVD(Cat-CVD)Process (2006.10)
Poly-Si Films with Long Carrier Lifetime Prepared by Rapid Thermal Annealing of Cat-CVD Amorphous Silicon Thin Films PDF（192KB）

第21回光源物性とその応用研究会 (2006.10)
アンテナ効果を用いたマイクロ波励起小型超高圧水銀ランプの発光特性 PDF（323KB）

第21回光源物性とその応用研究会 (2006.10)
アンテナ励起型小型マイクロ波放電ランプの電磁界分布とランプインピーダンス PDF（1.1MB）

ナノオプティクス研究グループ第15回研究討論会 (2006.7)
干渉による露光ムラを低減する近接場光リソグラフィ用フォトマスク PDF（92KB）

第67回応用物理学会学術講演会 (2006秋季)
SiNを用いたAlInGaN系紫外LED高出力化の検討 PDF（17KB）

日本美容皮膚科学界誌 (2006.6)
500nm以上の可視光線を用いた尋常性ざ瘡の光線治療 PDF（716KB）

MHS2006 and Micro-Nano COE (2006.11)
Surface modification of DMFC using ultra-low energy electron beam irradiation system with silicon base membrane PDF（1.6MB）

国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 マテリアルサイエンス研究科
松村研究室 松村英樹教授
電子デバイスの性能を高め、新用途を拓く次世代薄膜形成技術「Cat-CVD」 PDF（5.5MB）