ライトエッジ Ｎｏ.30 ［特集号］ EUV光源

次世代半導体の実現に向けて、今、最も可能性が高く、大きな期待が寄せられている「EUV露光技術」にスポットをあて、その核となる「EUV光源」の技術論文を編集したEUV特集号です。

（2008年3月 発行）

光テクノロジー and フロンティア
究極の「光」、次世代半導体の実現へ PDF（436KB）

「レーザー研究」日本レーザー学会（2001年10月）
リソグラフィ用EUV光源 PDF（1.06MB）

「超精密」精密工学会超精密加工専門委員会編（2005年11月）
EUVL用ディスチャージ生成プラズマ光源の開発 PDF（886KB）

プラズマ核融合学会誌Vo.81 12月号（2005年11月）
これからの光源－EUV 光源 PDF（674KB）

SPIE, 2005 International EUVL Symposium（2005年10月）
Xe- and Sn-fueled Z-pinch EUV source development aiming at HVM PDF（2.32MB）

SPIE, 2006 International EUVL Symposium（2006年2月）
Development of Xe-and Sn-fueled high-power Z-pinch EUV source aiming at HVM PDF（380KB）

SPIE, 2006 International EUVL Symposium（2006年10月）
Development of high-power Sn-fueled DPP EUV source for enabling HVM PDF（1.12MB）

SPIE, 2007 International EUVL Symposium（2007年2月）
Development of Sn-fueled high-power DPP EUV source for enabling HVM PDF（554KB）

SPIE, 2007 International EUVL Symposium（2007年10月）
High-power DPP EUV source development toward HVM PDF（1.76MB）

「EUV光源の開発と応用」シーエムシー出版（2007年2月）
放電プラズマEUV光源（DPP） PDF（1.82MB）

平成18年度EUV露光技術研究成果報告会（2007年5月）
DPP方式EUV光源の開発 PDF（3.48MB）

NGL 2007（2007年7月）
実用化に向けたDPPの開発 PDF（712KB）

2007 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography（2007年10月）
Progress on DPP source development towards HVM PDF（1.1MB）