ライトエッジ No.33

FPCの微細化･高生産性を達成する露光装置をはじめ、CSPの高密度化に対応した有機フリップチップパッケージ向け露光装置、精密ドライ洗浄分野で高シェアを占めるエキシマランプ、医療分野で注目を集める免疫分析装置、長年にわたり定評のある太陽電池特性評価用ソーラーシミュレータなど、2009年夏から2010年春にかけて発表した論文10を掲載しています。

また、シリーズ「大学研究室を訪ねて」では、マイクロ･ナノ加工、バイオ･流体デバイスの研究開発に精力的に取り組む、香川大学准教授の鈴木孝明先生の研究室をご紹介しています。

（2010年8月 発行）

Semiconductor FPD World（プレスジャーナル）（2009.8）
エキシマ光を用いた精密ドライ洗浄技術 PDF（1.22MB）

電気学会技術報告(新しい光源とモデリング・計測調査専門委員会)(2009.10)
誘電体バリア放電を用いたエキシマランプ PDF（1.15MB）

2010太陽光発電技術大全（電子ジャーナル）（2009.8）
太陽電池特性評価用ソーラーシミュレータ PDF（762KB）

電子材料 10月号（工業調査会）（2009.10）
ステップ＆リピート投影露光装置 「UX-5シリーズ」 PDF（874KB）

Applied Physics Letter（2010.1）
Stress-Enhancement in free-standing Si pillars through nonequilibriumdehydrogenation in SiN:H stress-liners by ultraviolet light irradiation PDF（399KB）

東京大学CORAL事業 教科書（2010.3）
VUV～UV光の発生方法とその応用 PDF（1.25MB）

日本臨床検査自動化学会（2009.10）
POCT機器 Banalyst Aceを用いた高感度CRP測定試薬の性能評価 PDF（2.14MB）

環瀬戸内海光源研究会（2009.11）
Modeling of a Projector Lamp Operatedby a U-Drive Pulse Power Source PDF（510KB）

Electronic Journal 第229回 Technical Symposium（電子ジャーナル）（2010.1）
ロールtoロール型FPC露光装置の最新動向 PDF（4.35MB）

2010年春季第57回応用物理学会学術講演会（2010.3）
紫外発光タイプの完全水銀フリー蛍光ランプの開発 PDF（571KB）

香川大学 工学部 知能機械システム工学科 准教授
鈴木孝明 （すずきたかあき）さん
化学･生物学の実験室･プラントをチップ上に再現 PDF（11.3MB）