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UV硬化・接着装置

電子部品や光学部品などの微小面精密接着からレジスト硬化、液晶パネルの貼り合わせなど、熱を使わない「光(紫外線)硬化・接着装置」をご紹介します。


UV硬化・接着装置

ハイパワー、コンパクト、低温処理を実現するUV硬化・乾燥装置です。目的に応じて、ランプやUV強度、照射幅などのコンポーネントが可能です。


ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュア等さまざまな用途で活用されています。


UVランプ内蔵で、使いやすいスポットUV照射装置です。ラインやワークに合わせたレンズやユニットなどのオプションも豊富です。


世界最小・最軽量、ハイパワーをLEDで実現しました。


紫外領域から赤外領域までの連続発光で、発光パルスは水銀ランプの50倍以上。高ピーク照度・低温処理・省エネなど、まさに新時代のUV装置です。


規格化されたパーツユニットを、目的に応じてコンポーネントできる照射装置です。


印刷用UVインクやUVコート剤の硬化用LED光源。空冷式と水冷式の2機種をラインアップ。