ハイパワー、コンパクト、低温処理を実現するUV硬化・乾燥装置です。目的に応じて、ランプやUV強度、照射幅などのコンポーネントが可能です。
電子部品や光学部品などの微小面精密接着からレジスト硬化、液晶パネルの貼り合わせなど、熱を使わない「光(紫外線)硬化・接着装置」をご紹介します。
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ハイパワー、コンパクト、低温処理を実現するUV硬化・乾燥装置です。目的に応じて、ランプやUV強度、照射幅などのコンポーネントが可能です。 |
ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュア等さまざまな用途で活用されています。 |
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UVランプ内蔵で、使いやすいスポットUV照射装置です。ラインやワークに合わせたレンズやユニットなどのオプションも豊富です。 |
世界最小・最軽量、ハイパワーをLEDで実現しました。 |
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紫外領域から赤外領域までの連続発光で、発光パルスは水銀ランプの50倍以上。高ピーク照度・低温処理・省エネなど、まさに新時代のUV装置です。 |
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