회사연혁

1996년한국우시오(주) 설립
1997년반도체 P/R(Photoresist)경화장치「Uni Hard」판매개시
1998년반도체 제조 전문전시회「Semicon Korea」첫출전
1999년액정Panel 광 세정장치「Excimer VUV/O₃Cleaner」가 대기업 액정 제조업체에 채용
(Excimer 빛에 의한 세정Process확립) 본격적 판매 개시
2001년액정Business 본격화
- 노광용 초고압UV LAMP(SH LAMP)
- 광 세정장치·액정Panel
- 합체용 UV조사장치
2002년반도체 노광용 Excimer Laser Service부문 설립
(GIGAPHOTON과 공동으로 Customer Service체제 확립)
2003년반도체 노광용 Excimer Laser(GIGAPHOTON제품) 판매 개시
2004년「빛의 장치」에 대한 Maintenance체제 재구축(User로부터 신뢰 획득)
2005년액매출·이익 모두 과거 최고 경신
2006년12월 12일 ISO 14001 환경경영 인증 획득
2012년 4월기가포톤사업을 한국기가포톤주식회사로 양도