에너지 (태양전지/연료 전지)

플랫 패널 디스플레이

반도체, FPD에 이은 제3 사업으로써 태양전지는 차세대 에너지원으로써 결정계 Si태양전지, 박막계 Si태양전지, CIS계 태양전지로 급성장하고 있습니다.
다른 열원으로는 실현할 수 없는 할로겐 램프 히터에 의한 「비접촉 고속 온도 조절」은 전극의 소성(燒成), 소성, CVD, 라미네이트 등의 열처리 장치에서 표준 열원으로써 채택되고 있습니다.
또, 차세대 클린 에너지로써 기대되고 있는 기술의 하나에 연료 전지가 있고, 건조 공정 등에서 광가열이 유효합니다.

용도

PECVD

비정질 실리콘막, 반사 방지 등 PECVD의 가열 공정에서, 할로겐 램프 히터가 가진 뛰어난 고속 온도 승온성은 막 생성 시의 택트타임 단축을 가능하게 해, 우수한 온도 균일성은 고품질 CVD막을 형성합니다.

소성(燒成)

미세(微細)화가 필요한 전극 형성(fire through)에서, 가열 공정은 중요한 기능을 담당하고 있습니다.
할로겐 램프 히터는 고속 온도 조절・배열분포, 색 온도 등의 열처리 조건을 최적화합니다.

라미네이트

할로겐 램프 히터는 태양전지 모듈을 진공중에 패키징하는 라미네이트 공정에도 적합합니다.

건조

열풍을 이용해 건조시키는 경우, 고로 길이가 길어져, 라인 규모는 대규모가 됩니다.
온도 조절 성능이 우수한 할로겐 히터는 고로 길이 단축이 가능합니다.

주요 시료(試料)

단결정 실리콘, 다결정 실리콘, 비정질 실리콘, 필름, CIGS, 흑연

특징

고효율 에너지원

투입 전력의 85%이상을 적외선으로 변환, 방사하는 고효율 램프식 방사 가열원입니다.
소비 전력 억제는 비용의 절감을 실현합니다.

고효율 에너지원

고효율 에너지원

우수한 온도 조절 성능

열 용량이 작은 텅스텐 필라멘트를 발열체로 해, 비접촉에서의 고속 온도 조절이 가능합니다.
뛰어난 고속 온도 조절 성능은 소성 공정에서 최적 온도 프로파일을 실현합니다. 또한, 상시 전력을 소비하는 저항 가열과 달리, 빠른 기동 성능은 가열 시간 단축에 의한 택트 업, 더 나아가 필요 시만 ON 하므로, 비용 절감에 크게 공헌합니다.

온도 조절 성능

온도 조절 성능

태양전지 기판의 흡수 특성과 할로겐 램프 히터 파장 특성

태양전지 기판인 실리콘이나 각종 CVD막의 흡수 파장과 램프 출력 파장(색온도)을 맞추는 것으로, 최적의 히터를 제공합니다.

태양전지 기반 (SiN on Si)과 할로겐 히터의 분광 분포 특성

태양전지 기반 (SiN on Si)과 할로겐 히터의 분광 분포 특성

높은 컨트롤 성능

광학 설계된 히터 유니트와 전용 PID 제어 시스템으로, 저온역부터 고온역까지, 다른 열원으로는 달성할 수 없는, 뛰어난 온도 컨트롤을 실현합니다.

장척・클린 열원

할로겐 램프 히터는 대형 유리 기판에 대응한 히터 제작이 가능합니다.
또, 독자적인 램프 형상을 이용하는 것으로, 더 긴 거리에도 대응할 수가 있습니다.
비접촉 가열이므로, 클린 환경을 유지해, 대기중・진공중 등 가열 환경과도 관계없습니다.
「빛」이기 때문에 가스를 배출하지 않고, CO2 배출 삭감에도 효과가 있습니다.

긴 수명으로 일정한 에너지 방사

할로겐 사이클의 기능으로, 다른 할로겐 램프 히터에는 없는 긴 수명 설계가 가능합니다. 또한, 다른 열원과 같은 시간 경과 변화가 없고, 수명이 다할 때까지 거의 일정한 에너지 방사를 유지합니다.

전력 유지율 데이터

전력 유지율 데이터

제품 예

  • 수냉식 평면형 히터 유니트

    수냉식 평면형 히터 유니트

    ~□2,000 mm까지의 각종 기반을, 높은 균일・높은 효율로 가열하는 유니트입니다.

  • 포커스 히터

    포커스 히터

    빛을 라인 모양으로 집광해, 워크 일부분을 보다 빠르게 가열하고 싶은 경우 등에 적합합니다.

  • 파라볼라(parabola) 히터

    파라볼라(parabola) 히터

    넓은 면적을 균일하게 평면 조사하는 경우에 적합한 유니트입니다.

  • 스팟 히터

    스팟 히터

    1등식(燈式)의 심플 히터. 스팟 에리어를 가열시키는 실험 등에 최적입니다.

  • 써클 히터

    써클 히터

    웨이퍼 주변만을 가열하는 경우 등에 유효합니다.

  • 반사막 부착 히터

    반사막 부착 히터

    한방향에 효율적으로 열에너지를 방사할 수 있습니다.
    반사 미러의 삭감 효과나, 천판上板(top board)의 온도 상승 억제 등의 효과가 있습니다.

  • 수직 히터

    수직 히터

    램프 히터의 심장부인 필라멘트를 고정시키는 것으로, 수직 점등도 가능합니다.

할로겐 램프 히터 용도
Principal use

문의

TEL: 02-587-1115 / FAX: 02-587-1118