반도체

할로겐 램프 히터는 고속 온도 조절을 비접촉으로 실현하는 높은 성능을 가진 열원으로, 산화막 형성이나 미세 접합, 실리사이드 형성에서는 이미 업계 표준 열원이 되고 있습니다.
향후, 저온화로 진행될 차세대 프로세스에서도, 더욱 중요한 열원이 됩니다.
또, CVD나 스팩터 등의 장치에서도 비접촉 가열은 보조 히터/보조 열원으로써 중요한 기능을 수행합니다.
또한, pure water・약액 등의 유체 물질에서도 높은 정밀도의 온도 제어가 가능합니다.

용도
주요 시료(試料)
특징
제품 예

용도

RTP/RTA/스파이크 어닐 (Spike Anneal)

할로겐 램프 히터에 의한 RTP는 열처리량(thermal budget) 절감・박막 형성 등의 열처리 프로세스에서, 연구 개발부터 양산까지 폭넓게 적용되고 있어, 프로세스 확장성을 더욱 넓히고 있습니다.

에피택셜 (epitaxial)

에피택셜 성장에 필요한 1200℃의 고온 열처리 과정에는 할로겐 램프 히터가 최적입니다. 또 긴 수명은 비용 절감이 가능하고, CoO에 크게 기여합니다.

CVD/스팩터

순간 점등이 가능한 할로겐 램프 히터는 핫 플레이트와 같이 온도가 안정될 때까지 장시간 기다릴 필요가 없습니다. 또 클린 비접촉 가열은 오염 걱정이 없고, 보조 히터로써 최적인 열원입니다.

세정・건조

할로겐 램프 히터의 고속 응답성이 pure water・약액의 온도를 정밀하게 컨트롤 합니다.
또, 할로겐 램프 히터는 고순도 석영으로 되어 있어, 불순물을 발생시키지 않습니다.
할로겐 램프 히터에 의한 비접촉 가열은 웨이퍼 세정 후의 깨끗한 건조가 가능합니다.

진공 장치

초고진공을 달성시키기 위해서는 chamber 내부의 수분 제거가 필요합니다.
비접촉 히터는 단시간에 수분 제거가 가능하기 때문에, 장치 기동 시간 단축에 크게 기여합니다.

주요 시료(試料)

실리콘 웨이퍼(~450 mm), SiC, SOI, III-V화합물, Ge, SiGe

특징

고효율 에너지원

투입 전력의 85%이상을 적외선으로 변환, 방사하는 고효율 램프식 방사 가열원입니다.
소비 전력 억제는 비용을 절감 합니다.

고효율 에너지원

우수한 온도 조절 성능

열 용량이 작은 텅스텐 필라멘트를 발열체로 해, 비접촉에서의 고속 온도 조절이 가능합니다.
열처리량 절감이나 박막 형성 등에 필요한 열원입니다.
또, 상시 전력을 소비하는 저항 가열원과 달리, 빠른 기동 성능은 필요한 때 ON, 불필요한 때 OFF로, 비용 절감, tact up 등 CoO 줄이기에 크게 기여합니다.

온도 조절 성능

높은 컨트롤 성능

광학 설계된 히터 유니트와 전용 PID 제어 시스템으로, 저온역부터 고온역까지, 다른 열원으로는 달성할 수 없는, 뛰어난 온도 컨트롤을 실현합니다.
더욱 할로겐 램프 히터에 의한 비접촉 가열은 클린 가열 뿐만 아니라, 장치 설계에 높은 자유도를 부여합니다.

소형・클린 열원

할로겐 램프 히터는 소형・경량과 관계없이 큰 에너지를 출력 가능하기 때문에, 좁은 장소에도 설치 가능합니다. 또, 비접촉 가열이므로, 클린 환경을 유지하고, 대기중・진공중 등 가열 환경과도 관계없습니다. 광가열은 가스를 배출하지 않아, CO2 배출 삭감에도 효과가 있습니다.

긴 수명으로 일정한 에너지 방사

할로겐 사이클의 기능으로, 다른 할로겐 램프 히터에는 없는 긴 수명 설계가 가능합니다. 또한, 다른 열원과 같은 시간 경과 변화가 없고, 수명이 다할 때까지 거의 일정한 에너지 방사를 유지합니다.

전력 유지율 데이터

제품 예

써클 히터 유니트

동심원에 배치한 히터에 의해 웨이퍼를 균일하게 가열합니다.
독자적인 이형관(異形管) 히터는 유니트 사이즈를 컴팩트화 했습니다.
포커스 히터

빛을 라인 모양으로 집광해, 워크 일부분을 보다 빠르게 가열하고 싶은 경우 등에 적합합니다.
파라볼라(parabola) 히터

넓은 면적을 균일하게 평면 조사하는 경우에 적합한 유니트입니다.
스팟 히터

1등식(燈式)의 심플 히터. 스팟 에리어를 가열시키는 실험 등에 최적입니다.
써클 히터

웨이퍼 주변만을 가열하는 경우 등에 유효합니다.
반사막 부착 히터

한방향에 효율적으로 열에너지를 방사할 수 있습니다.
반사 미러의 삭감 효과나, 천판上板(top board)의 온도 상승 억제 등의 효과가 있습니다.
수직 히터

램프 히터의 심장부인 필라멘트를 고정시키는 것으로, 수직 점등도 가능합니다.