플랫 패널 디스플레이

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할할로겐 램프 히터는 다른 열원에서는 실현할 수 없는 「고속 온도 조절과 비접촉 가열」을 가능하게 하는 열원으로, 대형 유리 기판에 대응하는 장척화를 가능화했습니다. 할로겐 램프 히터를 이용하는 것으로, 택트타임 단축이나 footprint 축소에 큰 폭으로 공헌합니다.

용도

진공 장치

초고진공을 달성시키기 위해서는 chamber 내부의 수분 제거가 필요합니다.
비접촉 히터는 단시간에 수분 제거가 가능하기 때문에, 장치 기동 시간 단축에 크게 기여합니다.

주요 시료(試料)

액정용 유리, PDP용 유리, 유기 EL, LTPS, ITO막, 컬러 필터, 필름

특징

고효율 에너지원

투입 전력의 85%이상을 적외선으로 변환, 방사하는 고효율 램프식 방사 가열원입니다. 소비 전력의 억제는 비용의 절감을 실현합니다.

고효율 에너지원

고효율 에너지원

우수한 온도 조절 성능

열 용량이 작은 텅스텐 필라멘트를 발열체로 해, 비접촉에서의 고속 온도 조절이 가능합니다.
유리 기판을 가열한 경우, 몇 10초에 소정의 온도까지 온도상승이 가능합니다. 가열 시간 단축으로 처리 능력 향상을 실현합니다.
또, 상시 전력을 소비하는 저항 가열원과 달리, 빠른 기동 성능은 필요한 때 ON, 불필요한 때 OFF로, 비용을 절감합니다.

온도 조절 성능

온도 조절 성능

소형・클린 열원

할로겐 램프 히터는 소형・경량의 이점을 살려, 최장 2.5 M까지 히터 제작이 가능합니다. 또한, 당사의 독자적인 램프 형상을 이용하는 것으로, 보다 긴 거리에도 대응할 수가 있습니다. 비접촉 가열이기에, 클린 환경을 유지해, 대기중・진공중 등 가열 환경과도 관계없습니다. 광가열은 가스를 배출하지 않아, CO2 배출 삭감에도 효과가 있습니다.

긴 수명으로 일정한 에너지 방사

할로겐 사이클의 기능으로, 다른 할로겐 램프 히터에는 없는 긴 수명 설계가 가능합니다. 또한, 다른 열원과 같은 시간 경과 변화가 없기 때문에, 수명이 다할 때까지 거의 일정한 에너지 방사를 유지합니다.

전력 유지율 데이터

전력 유지율 데이터

제품 예

  • 수냉식 평면형 히터 유니트

    수냉식 평면형 히터 유니트

    ~□2,000 mm까지의 각종 기반을, 높은 균일・높은 효율로 가열하는 유니트입니다.

  • 포커스 히터

    포커스 히터

    빛을 라인 모양으로 집광해, 워크 일부분을 보다 빠르게 가열하고 싶은 경우 등에 적합합니다.

  • 파라볼라(parabola) 히터

    파라볼라(parabola) 히터

    넓은 면적을 균일하게 평면 조사하는 경우에 적합한 유니트입니다.

  • 스팟 히터

    스팟 히터

    1등식(燈式)의 심플 히터. 스팟 에리어를 가열시키는 실험 등에 최적입니다.

  • 써클 히터

    써클 히터

    웨이퍼 주변만을 가열하는 경우 등에 유효합니다.

  • 반사막 부착 히터

    반사막 부착 히터

    한방향에 효율적으로 열에너지를 방사할 수 있습니다.
    반사 미러의 삭감 효과나, 천판上板(top board)의 온도 상승 억제 등의 효과가 있습니다.

  • 수직 히터

    수직 히터

    램프 히터의 심장부인 필라멘트를 고정시키는 것으로, 수직 점등도 가능합니다.

할로겐 램프 히터 용도
Principal use

문의

TEL: 02-587-1115 / FAX: 02-587-1118