分野

エレクトロニクス

用途

検査

活用シーン

光学部品反射率測定

• ・テレビが大画面になり、FPD露光装置に使用されるワークサイズは、最大□３メートルまで、大型化しています。
• ・装置搭載の光学部品の実物を高精度で品質管理する必要があり、レジスト感光波長に合わせた波長を選択して反射する楕円ミラーや、平行光にするためのコリメータミラーなど、高反射率な性能が求められています。
  また、装置出荷後の製造現場でも、レジストの昇華物が光学部品に付着し、ミラーの反射率が低下し、スループットを落とすことがあります。定期点検でも、部品レベルでの性能管理が求められています。
  従来の一般的な測定器である、分光光度計では、構造上、試料室に入るワークサイズまでしか測定できず、実測ができておりませんでした。
• ・弊社分光反射率計URE-60V/Dは、大型ワークを非破壊で、オンサイトで測定可能です。
  光学部品製作時での検査、装置開発時の評価、装置出荷後の性能評価や不具合切り分けが必要なシーンなど、様々な活用が可能です。