実験・評価用インバータ

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幅広い電力、サイズのエキシマ光172nm / 222nmランプに適応したインバータをラインアップしました。
出力電力、周波数などが変更できる拡張性を重視した設計となっており、実験・評価用として最適です。
お客様の早期の実験・検討に貢献できるようにデリバリー重視の試作生産体制を整えています。

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(1)各種ランプ電力(2.5~330W)に応じて5タイプをラインアップ
(2)マイコン搭載により制御拡張が可能(380シリーズを除く)
(3)パラメータにより始動シーケンス/出力波形の設定が可能
(4)通信機能を搭載(121、331シリーズ)
(5)オプション選択により短納期での提供が可能

搭載光源