透過型回折格子
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回折格子は、多波長の光が重ね合わされた光（白色光源）からの放射を波長ごとに分光する波長分散用光学素子です。
ウシオでは、これまで培ってきた光源・光学・露光技術を活かし、微細加工技術を応用した光学素子の開発に取り組んでいます。
8インチの合成石英ウエ―ハ表面にフォトリソプロセスにより微細構造を形成し、表面レリーフ型の透過型の回折格子を製作いたします。
なお、シミュレーターによる光学設計から、マイクロレンズアレイの加工、納品に至るまでワンストップでご提供可能です。
製品の特長
・干渉露光による継ぎ目のない透過型回折格子
干渉露光は、光の干渉によって生じた光の強弱を利用した露光のパターニングを行う技術です。対象物表面の感光物質に光の波長オーダーの繰り返しパターンを形成することができます。
ウシオでは、露光対象物表面のフォトレジストを干渉露光技術を応用し、8インチウエーハ（Φ200ウエーハ）上にライン＆スペース構造を形成することで、紫外～可視波長域の範囲で任意の中心波長、角度特性を持つ透過型回折格子を製作いたします。
さらに、独自のシームレス露光技術により8インチウエーハ全面に継ぎ目のない露光パターン領域を形成することが可能です。
・広帯域で高効率
広い帯域で高い回折効率を実現します。
・スペクトル対称性
中心波長に対して、長波長側、短波長側のスペクトル形状が対称形状になります。
・少ない偏光依存性
TE偏光・TM偏光の偏光依存性が比較的小さくなる構成での加工が可能です。
対応可能な材質・形状
| 仕様項目 | 設計要素範囲 |
|---|---|
| 材質 | 合成石英，シリコンほか各種半導体材料, 薄膜材料，など |
| サイズ | 外形：8インチ(Φ200mm)基板以下 板厚：0.3～2mmT(外形寸法により異なります。） |
| 格子配列 | ラインアンドスペース （L/S) 同心円状 |
| 格子断面形状 | 矩形，鋭角形状 |
| 中心波長 | 254 nm, 445 nm, 840 nm(加工実績ベース) |
| 刻線数 | ～1600line/mm, 2000 line/mm～5000 line/mm |
| 格子ピッチ | 200 nm～500 nm, 625 nm～数 ㎛ |
| デューティ比 | 0.4～0.7（刻線数，格子ピッチ等形状に依存します。） |
| 格子高さ | ～数㎛（刻線数，格子ピッチ等形状に依存します。） |
| その他 | 保護膜，ARコート形成，が可能 |
・プラズマ分光計測
・光干渉断層撮影（OCT：Optical Coherence Tomography）
・合波
ファイバーによらずビームをバンドルでき、ビーム軸線上で位置（高さ）によらず高輝度光を出力できるため集光店の制御が容易な光学系を構築できます。合波後のレーザー光を金属他の表面に照射することで表面加熱ができ、処理雰囲気を工夫することで酸化／還元処理が期待できます。