深紫外放射

Deep-UV, DUV しんしがいほうしゃ

解説

深紫外放射とは、波長域に諸説あるが、概ね250、300、350nm以下の紫外放射のこと。ディープUV(Deep-UV、DUV)とも呼ぶ。
紫外放射を参照。

※この言葉は、もともとIBM のDr.Lin が使った言葉で、彼の概念では、200~300nm の波長域をさす。この波長範囲(200~300nm)は、概ね200~220nm から300~320nm の中紫外放射と重なる。