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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
28p-ZV-3エキシマランプによるSiウエハのUV／オゾン洗浄
UV/Ozone cleaning of Si surface by excimer lamp 1996
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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
28a-SC-2エキシマランプによるポリアセタールの表面改質
Surface Modification of Polyoxymethylene with Excimer Lamp 1996
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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
28a-ZT-6誘電体バリア放電ランプによるポリイミドの表面改質
Surface Modification of Polyimide by VUV lamp 1996
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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
28a-ZT-7誘電体バリア放電Xe2*エキシマランプによるUV/O3洗浄の要因検討
The Conceivable Factors for UV/O3 Cleaning by Xe2 Excimer Lamp 1996
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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
28p-PC-15172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO2膜の室温形成(III)
Fabrication of SiO2 Film at Room Temperature by 172nm VUV Lamp(III) 1996
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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
27p-E-12パルス無声放電励起希ガスエキシマフラッシュランプの開発（II）
Vacuum ultraviolet rare-gas flash lamps excited by a pulsed silent discharge（II） 1996
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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
27p-E-13高効率ジェット放電励起キセノンエキシマ光源の開発(III)
Development of a high efficiency jet Xe excimer lamp excited by quasi-DC discharge 1996
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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
26a-SQ-29誘電体バリア放電エキシマランプによるポリマーのフォトエッチング
Dry-Etching of polymers using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp 1996
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第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集
26a-SQ-30誘電体バリア放電エキシマランプを用いた光CVDによる石英薄膜の作製
Direct Photo-Deposition of Silicon Dioxide Films using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp 1996
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1996（平成8年）春季 第43回 応用物理学会 関係連合講演会 講演予稿集No.2
27p-ZV-6エキシマランプを用いた有機光学材料のフォトエッチング
Photo-Etching of Organic Optical Materials using an Excimer Lamp 1996
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1996（平成8年）春季 第43回 応用物理学会 関係連合講演会 講演予稿集No.2
29p-N-2172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO2膜の室温形成(IV)
Fabrication of SiO2 Films at Room Temperature by 172nm VUV Lamp (IV) 1996