전하 중화 시스템

전하 중화 시스템
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강하고 깊은 자외선 조사는 EPROM 및 플래쉬 메모리의 전화를 중화합니다. 플라즈마 처리에 문제가 될 수도 있는 전하를 중화합니다.

UV 전하 제거
강렬하고 깊은 자외선 조사는 기판의 전하를 중화시킵니다. 이 시스템은 700개 이상의 유닛이 납품된 반도체 제조 라인에 채택되었습니다.
고강도 균일 조사
보증하는 초기 조도는 650 mW/cm 입니다.2 (at 220 to 320 nm) with ±10% uniformity.
쉬운 램프 유닛 교체
램프 유닛을 교체할 때 조정이 필요 없기 때문에 시스템 가동 중지 시간이 감소됩니다.
광범위한 제품 라인업
6인치 시스템(5인치 이하도 가능), 8인치 시스템 (6인치 이하도 가능), 및 12인치 전용 시스템을 포함하는 모든 작업 카세트 지원. 엑시머 램프와 8인치 시스템도 가능합니다.
전하 중화 (EPROM, OTP, 플래시 메모리)
침착 전 전하 중화
플라즈마 처리 문제를 피하기 위한 전하 중화 그리고 더

H120 시리즈 12인치 특수 장비는 SEMI-호환 로드 포트를 장착해 EFEM을 채택합니다. GEM300 호환
H208 시리즈 8인치 및 6인치 기기 지원

설치된 광원