수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈

수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈
  • 즐겨 찾기
  • 인쇄
  • 노광
  • MEMS, 전자부품
  • 반도체
  • 액정 디스플레이
  • 인쇄회로 기판 및 PKG

이 마스크 정렬기는 우시오가 수년에 걸쳐 개발해온 광원과 광학 기술을 사용하고 있습니다.
이 노출 기기는 ihg 선을 지원할 뿐만 아니라 깊은 UV 범위 또한 지원합니다.
【구성 기술】
- 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함
- 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.

고해상도
1 um (진공 강한 접촉) 의 가장 높은 선-공간 해상도를 실현했습니다. 근접 리소그래피는 20 um 의 갭에서 3 um의 높은 선-공간 해상도를 실현했습니다. 선 폭의 안정성은 높은 단계의 평탄성과 갭 안정성으로 또한 뛰어납니다. 우리는 소재에 따른 각각의 리소그래피에 최적의 해상도를 실현하기 위한 최고의 광학 시스템을 제안할 수 있습니다.
높은 오버레이 정확성 실현
오버레이 정밀도: 표면 정렬시 ±1 um, 후면 정렬시 ±1.5 um. 다양한 기판과 정렬 마크를 충족하기 위한 광학 정렬 광 및 이미지 처리 소프트웨어 기술로 높은 정밀도의 등록 정확성을 얻을 수 있습니다.
LCD 감광 소재 평가 시스템
우시오의 광원 기술을 활용하여 우리의 LCD 컬러 필터 노출 광원은 큰 시장 점유율을 확보했습니다. 우리는 이 기술을 이용해 LCD 감광 소재의 선적 검사를 위한 단순한 리소그래피 시스템을 제안할 수 있습니다.
MEMS
수정 발진기
SAW 필터
RF 기기
센서
잉크젯 헤드
다이오드
IGBT
전력 반도체
사이리스터
MOS-FETs
LEDs
파워 앰프
MMICs
BAW 필터
가속 센서
유도자
수동 소자
태양전지
R&D
소재 분석
연구 분석 등

모델 목록

설치된 광원

Note Regarding Exportation

This equipment (or technology) may be subject to security controls under the provisions of the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law, and in order to export the equipment or technology (or to conduct transactions for the purpose of providing the technology to a non-resident or foreign country), it may be necessary to obtain an export permit (or permission to implement service transactions) from the Minister of Economy, Trade and Industry. Be sure to contact us in advance for confirmation.