접촉/근접 정렬기 UX-3 시리즈

접촉/근접 정렬기 UX-3 시리즈
  • 즐겨 찾기
  • 인쇄
  • 노광
  • MEMS, 전자부품
  • 반도체
  • 액정 디스플레이
  • 인쇄회로 기판 및 PKG

이 마스크 정렬기는 우시오가 수년에 걸쳐 개발해온 광원과 광학 기술을 사용하고 있습니다.
이 노출 기기는 ihg 선을 지원할 뿐만 아니라 깊은 UV 범위 또한 지원합니다.
【구성 기술】
- 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함
- 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.

고해상도
1 um (진공 강한 접촉) 의 가장 높은 선-공간 해상도를 실현했습니다. 근접 리소그래피는 20 um 의 갭에서 3 um의 높은 선-공간 해상도를 실현했습니다. 선 폭의 안정성은 높은 단계의 평탄성과 갭 안정성으로 또한 뛰어납니다. 우리는 소재에 따른 각각의 리소그래피에 최적의 해상도를 실현하기 위한 최고의 광학 시스템을 제안할 수 있습니다.
높은 오버레이 정확성 실현

오버레이 정밀도: 표면 정렬시 ±1 um, 후면 정렬시 ±1.5 um. 다양한 기판과 정렬 마크를 충족하기 위한 광학 정렬 광 및 이미지 처리 소프트웨어 기술로 높은 정밀도의 등록 정확성을 얻을 수 있습니다.

MEMS
수정 발진기
SAW 필터
RF 기기
센서
잉크젯 헤드
다이오드
IGBT
전력 반도체
사이리스터
MOS-FETs
LEDs
파워 앰프
MMICs
BAW 필터
가속 센서
유도자
수동 소자
태양전지 등

모델 UX-3300SC
접촉 시스템 진공 접촉 단단한 접촉 부드러운 접촉 근접 갭 µm
해상도 1 µm L/S 2 µm L/S 2 µm L/S 3 µm L/S
노출 시스템 한쪽면 노출
웨이퍼 사이즈 200 mm 직경 까지
파장 I, ih 및 ihg 라인
정렬 정확성 ±1 µm (front side) ±1.5 µm (back side)  

모델 목록

설치된 광원

Note Regarding Exportation

This equipment (or technology) may be subject to security controls under the provisions of the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law, and in order to export the equipment or technology (or to conduct transactions for the purpose of providing the technology to a non-resident or foreign country), it may be necessary to obtain an export permit (or permission to implement service transactions) from the Minister of Economy, Trade and Industry. Be sure to contact us in advance for confirmation.