マイクロ波励起ランプとは、導波管を通してマイクロ波を空洞共振器に導入し、空洞共振器中に設置した無電極放電ランプを励起し、発光させるランプのこと。
電極のない発光管（石英ガラスのバルブなど）の中に、水銀、ハロゲン化金属などと不活性ガスが封入されている。
マイクロ波の発生にはマグネトロン1)などを用いた発振器が使われる。
1) マグネトロンとは、円筒形の陽極の中心軸に陰極を持ち、軸方向に磁界を加えマイクロ波を発振させる。
2)極真空管のことで回電子レンジなどにも使われる。
※空洞共振器の光取り出し窓には、マイクロ波が漏れないように、金属メッシュまたは透光性の導電膜を設けている。
