투영 노광 기술

우시오는 광원 전문 업체로서 반도체ㆍ액정 스테퍼를 비롯한 다양한 노광장치에 높은 에너지로 고안정의 자외선 광원（UV램프）을 제공하고 있습니다.
대형 면적 투영노광 장치「UX시리즈」에서는 노광 장치 개발과 동시에 광원의 개발을 시작해 모든 노광장치에 광학계의 특성을 총체적으로 끌어 올린 전용 설계된 광원을 채용하고 있습니다.

램프에서 방사된 빛을 효율적으로 집광해 고균일ㆍ고평행으로 마스크를 조사하는 작용을 하는 부분이 조명 광학계입니다. 각 미러에 채용된 특수 코팅으로 인해 노광 파장의 선택이나 열선 커트 등도 모두 가능합니다.
우시오의 조명광학계 기술은 1960년부터 시작된 스페이스 체임버용 솔라 시뮬레이터 개발로 길러진 고도의 광학 기술에서 그 뿌리를 찾을 수 있습니다. 이후 많은 반도체ㆍ액정용 노광장치에 조명 광학계를 제공해 노광장치용 광학계로서의 완성도를 높였습니다.
「UX시리즈」의 조명광학계는 지금까지의 노하우와 실적을 살려 램프 출력이나 노광 파장의 풍부한 다양성을 갖추는 등 프로세스에 알 맞는 이상적인 평행광을 투영광학계에 공급하고 있습니다.

우시오는 마스크와의 비접촉으로 인해 마스크 손상이 없는 투영노광 방식에 착안해 종전에는 곤란했던 대형 면적ㆍ낮은 디스토션의 투영광학계를 개발하였습니다.
우시오가 독자적으로 개발한 투영 렌즈는 노광 영역 φ200mm, 해상도 5μmL/S의 스펙을 가진 저 왜곡 렌즈가 그 대표적인 예입니다. 다양한 수요에 최적화된 광학 설계로 깊은 초점 심도를 유지하면서 다양한 노광 면적, 해상도를 가진 투영 렌즈를 개발해 시리즈화하고 있습니다.
기판 수축에 따른 패턴의 신축을 검지해 최대 ±0.1%까지 투영 배율을 자동조정합니다. 신축이 큰 중첩 노광에서 문제가 되고 있는 접합 불량을 방지해 완벽한 레지스트레이션을 실현하고 있습니다.

우시오는 마스크 로더 옵션을 추가하고 자체 디자인에 대한 마스크 라이브러리를 이용해서 시간 손실 없이 작업 변경이 가능합니다.
또한 자동 마스트 트랜스포트 기능은 마스크 손상과 부정확한 작업결과를 발생시킬 수 있는 휴먼 에러를 감소시키며 마스크 케이스 상태에서 마스크를 이동시키고 탑재할 수 있어 분진의 접착을 방지할 수 있습니다.