取締役（2025年6月27日 現在）
| 代表取締役社長 |
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| 取締役 |
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| 取締役 |
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| 社外取締役 |
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| 社外取締役 |
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| 社外取締役 |
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| 社外取締役 |
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| 取締役(常勤監査等委員) |
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| 社外取締役(監査等委員) |
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| 社外取締役(監査等委員) |
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| 社外取締役(監査等委員) |
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代表取締役社長 朝日 崇文
| 1987年4月 | 沖電気工業（株） 入社 |
|---|---|
| 1998年4月 | オキ・セミコンダクター・タイワン支店 支店長 |
| 1999年4月 | オキ・タイワン社 社長 |
| 2004年4月 | 沖電気工業（株） シリコンソリューションカンパニー 営業本部 北米部長 |
| 2007年4月 | オキ・セミコンダクター・アメリカ社 社長 |
| 2009年8月 | オキデータ・アメリカズ社 社長 |
| 2013年8月 | （株）沖データ（現 沖電気工業（株）） マーケティング本部海外営業推進センター長 |
| 2015年10月 | （株）沖データ（現 沖電気工業（株）） マーケティング本部副本部長 |
| 2017年4月 | 当社入社 当社社長統括本部次長 |
| 2018年4月 | 当社執行役員 当社社長統括本部次長兼社長統括本部経営戦略部門長 |
| 2019年4月 | 当社上級執行役員 当社経営統括本部長 |
| 2021年6月 | 当社取締役兼上級執行役員 |
| 2022年4月 | 当社取締役兼常務執行役員 CFO |
| 2024年4月 | 当社代表取締役社長兼執行役員社長CEO（現在） |
取締役 中野 哲男
| 1988年4月 | 当社入社 |
|---|---|
| 2016年4月 | 当社グループ執行役員 USHIO SHANGHAI, INC.董事長 |
| 2017年4月 | 当社グループ上級執行役員 |
| 2018年4月 | 当社グループ常務執行役員 |
| 2019年4月 | 当社常務執行役員 当社事業統括本部副本部長兼事業統括本部光源事業部長 |
| 2022年4月 | 当社ＥＳＧ推進本部長 |
| 2023年6月 | 当社取締役兼常務執行役員 |
| 2024年4月 | 当社取締役兼執行役員副社長 COO 兼CSuO（現在） |
取締役 神山 和久
| 1995年9月 | 当社入社 |
|---|---|
| 2016年4月 | 当社執行役員 |
| 2018年7月 | 当社グループ執行役員 CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS, INC. CFO |
| 2019年4月 | 当社グループ上級執行役員 CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS, INC. 取締役社長 CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS USA, INC.取締役会長 CHRISTIE DIGITAL SYSTEMS CANADA INC.取締役会長 |
| 2019年6月 | 当社取締役兼グループ上級執行役員 |
| 2022年4月 | 当社取締役兼常務執行役員（現在） 当社事業統括本部副本部長兼事業統括本部光源事業部長 |
| 2023年4月 | 当社事業統括本部副本部長兼事業統括本部Life Science事業部長 |
| 2024年4月 | 当社フォトリソ事業部長（現在） |
社外取締役 佐々木 豊成
| 1976年4月 | 大蔵省入省 |
|---|---|
| 2003年7月 | 財務省主計局次長 |
| 2007年7月 | 国税庁次長 |
| 2008年7月 | 財務省理財局長 |
| 2010年1月 | 内閣官房副長官補 |
| 2013年4月 | 内閣官房ＴＰＰ政府対策本部国内調整総括官 |
| 2016年7月 | (一社)生命保険協会代表理事副会長（現在） |
| 2019年6月 | 当社社外取締役（現在） |
| （重要な兼職の状況） | (一社)生命保険協会代表理事副会長 |
社外取締役 松﨑 正年
| 1976年4月 | 小西六写真工業（株）（現 コニカミノルタ（株））入社 |
|---|---|
| 2003年10月 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ（株）取締役 |
| 2005年4月 | コニカミノルタホールディングス（株）（現 コニカミノルタ（株））執行役 コニカミノルタテクノロジーセンター（株）代表取締役社長 |
| 2006年4月 | コニカミノルタホールディングス（株）（現 コニカミノルタ（株））常務執行役 |
| 2006年6月 | 同社取締役兼常務執行役 |
| 2009年4月 | 同社取締役兼代表執行役社長 |
| 2014年4月 | コニカミノルタ（株）取締役兼取締役会議長 |
| 2021年8月 | （株）ＳｍａｒｔＨＲ社外取締役 |
| 2022年4月 | 同社社外取締役兼取締役会議長（現在） |
| 2022年6月 | 当社社外取締役 コニカミノルタ（株）特別顧問 |
| 2023年3月 | ライオン（株）社外監査役 |
| 2023年6月 | 当社社外取締役兼取締役会議長（現在） |
| 2025年3月 | ライオン（株）社外取締役兼取締役会議長（現在） |
| （重要な兼職の状況） | （株）ＳｍａｒｔＨＲ社外取締役兼取締役会議長 ライオン（株）社外取締役兼取締役会議長 |
社外取締役 間下 直晃
| 1998年10月 | （有）ブイキューブインターネット（現 （株）ブイキューブ）設立代表取締役社長 |
|---|---|
| 2004年1月 | （株）ブイキューブブロードコミュニケーション （現 （株）ブイキューブ）代表取締役社長CEO |
| 2015年10月 | （株）ブイキューブロボティクス・ジャパン（現 （株）センシンロボティクス）取締役 Wizlearn Technologies Pte. Ltd.取締役（現在） |
| 2018年11月 | （株）センシンロボティクス代表取締役社長 |
| 2019年8月 | 同社代表取締役会長 |
| 2021年6月 | 同社取締役（現在） Xyvid Inc.（現 TEN Events, Inc.）取締役（現在） |
| 2022年3月 | （株）ブイキューブ代表取締役会長 グループCEO |
| 2022年9月 | （株）MICIN社外取締役（現在） |
| 2023年6月 | 当社社外取締役（現在） 三井住友信託銀行（株）社外取締役（現在） |
| 2024年2月 | TEN Holdings, Inc.取締役（現在） |
| 2024年12月 | HOMMA Group（株）社外取締役（現在） |
| 2025年3月 | （株）ブイキューブ代表取締役社長 グループCEO（現在） |
| （重要な兼職の状況） | （株）ブイキューブ代表取締役社長 グループCEO Wizlearn Technologies Pte. Ltd.取締役 （株）センシンロボティクス取締役 TEN Events, Inc.取締役 （株）MICIN社外取締役 三井住友信託銀行（株）社外取締役 TEN Holdings, Inc.取締役 HOMMA Group（株）社外取締役 |
社外取締役 増山 美佳
| 1985年4月 | 日本銀行入行 |
|---|---|
| 1991年9月 | Cap Gemini Sogeti国際マーケティングディレクター |
| 1992年11月 | ジェミニ・コンサルティング・ジャパン シニア・コンサルタント |
| 1997年6月 | エゴンゼンダー（株）入社 |
| 2004年1月 | 同社パートナー |
| 2016年10月 | 増山 ＆ Company（同）代表社員社長（現在） |
| 2017年3月 | サントリー食品インターナショナル（株）社外取締役（監査等委員）（現在） |
| 2019年6月 | 鴻池運輸（株）社外取締役（現在） |
| 2020年5月 | メットライフ生命保険（株）社外取締役（現在） |
| 2024年6月 | 当社社外取締役（現在） |
| （重要な兼職の状況） | 増山 ＆ Company（同）代表社員社長 サントリー食品インターナショナル（株）社外取締役（監査等委員） 鴻池運輸（株）社外取締役 メットライフ生命保険（株）社外取締役 |
取締役(常勤監査等委員) 木下 誠
| 1990年4月 | （株）東京銀行（現（株）三菱UFJ銀行）入社 |
|---|---|
| 2016年11月 | ブラジル三菱東京UFJ銀行（現MUFGバンク（ブラジル））頭取 |
| 2018年4月 | MUFGバンク（ブラジル）頭取兼三菱UFJ銀行中南米副総支配人兼米州法人統括部長 |
| 2020年4月 | 当社入社 |
| 2020年9月 | 当社経営統括本部人事総務戦略部門グローバル人事戦略部長 |
| 2022年4月 | 当社執行役員 当社経営統括本部グローバル人事総務戦略部門長 |
| 2023年4月 | 当社経営統括本部グループ人事総務戦略部門長 |
| 2024年4月 | 当社人事総務部門担当 |
| 2024年6月 | 当社取締役常勤監査等委員（現在） |
社外取締役(監査等委員) 杉原 麗
| 1986年4月 | 裁判官（東京地方裁判所判事補） |
|---|---|
| 1995年4月 | 弁護士（現在） |
| 1996年1月 | 古賀法律事務所（現 霞総合法律事務所）入所 |
| 2020年6月 | 当社社外取締役（監査等委員）（現在） |
| 2023年1月 | 巴工業（株）社外取締役（監査等委員）（現在） |
| （重要な兼職の状況） | 弁護士 巴工業（株）社外取締役（監査等委員） |
社外取締役(監査等委員) 須永 明美
| 1989年10月 | 青山監査法人（現 PwC Japan有限責任監査法人）監査部門入所 |
|---|---|
| 1991年2月 | 中央監査法人監査部門入所 |
| 1993年8月 | 公認会計士（現在） |
| 1994年10月 | 税理士（現在） |
| 1994年11月 | 須永公認会計士事務所開業所長（現在） |
| 1996年11月 | （株）丸の内ビジネスコンサルティング設立代表取締役（現在） |
| 2012年1月 | 税理士法人丸の内ビジネスコンサルティング 設立代表社員（現在） |
| 2017年6月 | 丸の内監査法人統括代表社員（現在） |
| 2020年6月 | 当社社外取締役（監査等委員）（現在） 養命酒製造（株）社外取締役（監査等委員）（現在） |
| 2021年6月 | プリマハム（株）社外監査役（現在） |
| 2022年6月 | KYB（株）（現 カヤバ（株））社外取締役（現在） |
| 2023年3月 | ライオン（株）社外監査役（現在） |
| （重要な兼職の状況） | 公認会計士 税理士 須永公認会計士事務所所長 （株）丸の内ビジネスコンサルティング代表取締役 税理士法人丸の内ビジネスコンサルティング代表社員 丸の内監査法人統括代表社員 養命酒製造（株）社外取締役（監査等委員） プリマハム（株）社外監査役 カヤバ（株）社外取締役 ライオン（株）社外監査役 |
社外取締役(監査等委員) 有泉 池秋
| 1987年4月 | 日本銀行入行 |
|---|---|
| 1998年5月 | 同行国際局副調査役（欧米グループ長） |
| 2002年7月 | 同行名古屋支店調査役 |
| 2005年7月 | 同行情報サービス局企画役 |
| 2009年7月 | 同行政策委員会室企画役 （経済団体渉外グループ長） |
| 2019年6月 | 同行情報サービス局企画役 |
| 2020年1月 | 同行総務人事局 |
| 2020年3月 | 同行退職 |
| 2021年6月 | （株）きらぼし銀行社外監査役（現在） |
| 2022年6月 | 当社社外取締役（監査等委員）（現在） |
| （重要な兼職の状況） | きらぼし銀行（株）社外監査役 |
執行役員（2026年4月1日 現在）
| 執行役員社長 |
朝日 崇文 |
CEO |
|---|---|---|
| 執行役員副社長 | 中野 哲男 | COO 兼 CSuO |
| 常務執行役員 | 神山 和久 | フォトリソ事業部長 |
| 上級執行役員 | 小髙 大樹 | 技術本部長 兼 技術本部研究開発部門長 |
| 執行役員 | 安部 建吉 | 光プロセス事業部長 |
| 今井 貴紀 | 光プロセス事業部副事業部長 兼 サステナビリティ推進部門長 兼 Photonics Solutions GBU 副GBU長 兼 マーケティング推進部門長 | |
| 佐藤 善彦 | 技術本部副本部長 兼 技術本部技術戦略部門長 兼 EUVプロジェクトリーダー | |
| 森 純一郎 | 生産本部長 |