感光性錯体パターニングによる無電解銅メッキパターン 改質 硬化・接着 露光 液晶・ディスプレイ 半導体 MEMS・電子部品 プリント基板・PKG Deep UV波長領域に吸収のある感光性錯体をシード層とした無電解銅メッキパターンの例。 （データ提供協力：関東学院大学 材料・表面工学研究所様/株式会社JCU様） 関連製品 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」
