表面改質パターニングによる無電解銅メッキパターン 露光 改質 プリント基板・PKG 液晶・ディスプレイ MEMS・電子部品 半導体 樹脂フィルム等にフォトマスクを介して親水化領域を選択的に作成。親水化領域にのみメッキシード層を吸着させた後、 無電解銅メッキパターンを形成。フォトレジストパターニングを介さずに導体形成が出来ます。 関連製品 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」