SAMパターニング

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撥水性のSAM（自己組織化単分子膜）上にフォトマスクを介しVUV光を照射。VUV照射領域に親水パターンを形成。親水領域にのみ導電性ナノインクを塗布することで5umL/Sを形成。

SAM膜上での導電性Agナノインクパターン（20um Gap)

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