AHAPS-SAMのパターニング

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AHAPS-SAMにフォトマスクを介してVUV照射後、蛍光色素（TAMRA）にてパターン部を可視化。
※AHAPS：正式名　N-(6-aminohexyl)-aminopropyltrimethoxysilaneN-（6-アミノヘキシル）アミノプロピルトリメトキシシラン

【蛍光観察像】
VUV照射 2分
N2雰囲気
10nmSiO2（熱酸化膜）/Si
蛍光染色TAMRA

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