대형 필드 스테퍼 UX-5 시리즈 UX-7 시리즈
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우시오는 서버와 PC 그리고 스마트폰 및 태블릿 PC와 같은 휴대 기기에 채택된 최신 패키징 어플리케이션용 특수 스테퍼를 제공합니다. 스테퍼는 패널 사이즈와 오랜 시간 동안 광원 및 광학 기술 분야에서의 전문성으로 함양된 우시오의 독점적인 넓은 영역 투영 렌즈 기술에 해당하는 단계를 사용하고 있는 패키지 기판을 위한 것입니다.
고해상도와 최신 패키징 기판에 요구되는 오버레이 정확성을 실현하면서 높은 생산성을 구현합니다.
【구성 기술】
- 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함
- 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
- 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈
UX-7 시리즈 라인업
| Model | UX-74101SC |
|---|---|
| 노출 영역 | □70×70 mm / d100mm |
| 마스크 사이즈 | □6 inches |
| 웨이퍼 사이즈 | 8과 12인치 직경 |
| 기판 사이즈 | to 300×300 mm |
| Resolution | 2 µm L/S |
| 정렬 정확성 | ±1.0 µm (front side) |
■ Resolution: 2 µm L/S possible
 |
System UX7 |
|---|---|
| Resist thickness 5 µm | |
| Resolution 2 µm L/S | |
| Focus ±16 µm |
UX-5 시리즈 라인업
| Model | UX-5782SC | UX-5781SC | UX-5793SC |
|---|---|---|---|
| 노출 영역 | □250 mm | □250 mm | □140 mm |
| 기판 사이즈 | Max. 510 × 610 mm | ||
| Resolution | 8 µm L/S | 16 µm L/S | 3 µm L/S |
| 정렬 정확성 | ±8 µm | ±8 µm | ±5.5 µm |
| 처리량 | 120 panels/h | 90 panels/h | 95 panels/h |
| 파장 | I 라인 | ih 라인 | I 라인 |
■ 향후 설계 규칙 지원
■ 기판 수축 지원
■ 넓은 깊이의 초점
모델 목록
