UV-LED照射装置高照度なUV-LED装置で
半導体プロセスにおけるUV硬化型樹脂、接着剤の硬化時間短縮を実現
UV-LED照射装置の紫外光（UV光）が紫外線硬化樹脂の光重合反応を促し、UV硬化型樹脂、接着剤を硬化させます。従来より使用されている水銀ランプ、メタルハライドランプと比較し、UV-LEDは低消費電力、長寿命、照射対象物への温度低減、瞬時点灯・消灯ができることが特長です。
実験用設備から、最先端の生産設備まで幅広くご提案いたします。
- 特長
- 用途例
- 1. 高効率・省エネルギー
従来水銀ランプに比べて消費電力が低く、エネルギー効率が高い。
- 2. 長寿命
UVLEDは寿命が長く、交換頻度が減るためメンテナンスコストを削減できる。
- 3. 即時点灯・消灯可能
起動時間が非常に短く、オンオフの切り替えが迅速にできるため工程の効率化に寄与。
- 4. 環境負荷の低減
水銀ランプのように有害物質を含まず、環境に優しい。
- 1. レジスト硬化
レジストの露光後、UV-LEDを使ってレジストの硬化を促進。
短時間で硬化が可能で、生産効率の向上に寄与。 - 2. アライメントマークの露光
ウエハーの位置合わせ用マークの露光工程でUV-LEDを使用し、高精度な位置決めを実現。
- 3. 接着剤の硬化
半導体パッケージング工程で使用するUV硬化型接着剤の硬化にUV-LEDを活用。
低熱で短時間硬化が可能で、熱ダメージを軽減。 - 4. UVテープ剥離工程（粘着力低減）
バックグラインドやダイシング工程でUVテープの粘着力をUV-LED照射で低減し、剥離を容易にする。
お問い合わせ
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※UV-LED有版印刷事業、UV-LED キュア事業につきましては、
岩崎電気へ譲渡致しました。
お問い合わせは岩崎電気株式会社へお願いいたします。
