精密洗浄、残渣除去(ダメージフリーUVアッシング) 改質 洗浄 液晶・ディスプレイ プリント基板・PKG 機能材料 MEMS・電子部品 エネルギー 印刷 半導体 バイオ・化学 界面活性剤や有機溶媒、薬液を用いた洗浄方法では取りきれない汚れを洗浄除去することが可能です。 関連製品 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット