表面活性化による常温接合 硬化・接着 改質 エネルギー MEMS・電子部品 バイオ・化学 半導体 印刷 機能材料 液晶・ディスプレイ プリント基板・PKG 表面の活性化と有機物の除去により「のりなし接合」と「接合強度のアップ」を実現。 関連製品 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット
