プリンタブルパターニング 加熱・乾燥 改質 露光 エネルギー 機能材料 バイオ・化学 印刷 半導体 MEMS・電子部品 プリント基板・PKG 液晶・ディスプレイ VUV(真空紫外線)により、レジストを用いずに親撥処理にてプリンタブルパターニングを実現 関連製品 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット