ライトエッジ No.4

ライトエッジ No.4

1995年発行のレーザー学会誌「レーザー研究」に掲載されたウシオ社員の技術論文、第56回応用物理学会学術講演会で発表されたウシオ社員および共同研究の論文要旨、また宮崎大学 黒澤教授をお招きしての社内講演会要旨をご紹介しています。

（1996年02月）

第23巻 第6号 レーザー研究

レーザオリジナル
ガスジェット放電励起真空紫外
キセノンエキシマ光源

第23巻 第12号 レーザー研究

レーザ解説
誘電体バリア放電エキシマランプの
原理と応用

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28p-ZV-3
エキシマランプによるSiウエハのUV／オゾン洗浄
UV/Ozone cleaning of Si surface by excimer lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28a-SC-2
エキシマランプによるポリアセタールの表面改質
Surface Modification of Polyoxymethylene with Excimer Lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28a-ZT-6
誘電体バリア放電ランプによるポリイミドの表面改質
Surface Modification of Polyimide by VUV lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28a-ZT-7
誘電体バリア放電Xe2*エキシマランプによるUV/O3洗浄の要因検討
The Conceivable Factors for UV/O3 Cleaning by Xe2 Excimer Lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

28p-PC-15
172nm誘電体バリア放電ランプによるSiO2膜の室温形成(III)
Fabrication of SiO2 Film at Room Temperature by 172nm VUV Lamp(III)

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

27p-E-12
パルス無声放電励起希ガスエキシマフラッシュランプの開発（II）
Vacuum ultraviolet rare-gas flash lamps excited by a pulsed silent discharge（II）

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

27p-E-13
高効率ジェット放電励起キセノンエキシマ光源の開発(III)
Development of a high efficiency jet Xe excimer lamp excited by quasi-DC discharge

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

26a-SQ-29
誘電体バリア放電エキシマランプによるポリマーのフォトエッチング
Dry-Etching of polymers using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp

第56回 応用物理学学会 学術講演会 講演予稿集

26a-SQ-30
誘電体バリア放電エキシマランプを用いた光CVDによる石英薄膜の作製
Direct Photo-Deposition of Silicon Dioxide Films using a Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer Lamp

社内講演会

真空紫外と新材料について

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