 2013 |
LED素子／パッケージ |
ウシオのチップ技術（設計・エピタキシャル成長・デバイスプロセス）とパッケージ技術（工学設計・熱設計）を最大限に活用したLED素子／パッケージです。 お客様の新製品や新プロジェクトの開発の初期段階から協業します。カスタム対応も可能です。 |
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 2013 |
ウシオの光加熱（サーマルプロセス）ソリューション |
ウシオのサーマルプロセス向け光加熱製品（ハロゲンランプヒータ、フラッシュランプ、LEDユニット）および関連技術をご紹介しています。 |
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 2013 |
ハロゲンランプヒータ |
ハロゲンランプヒータとは、ハロゲンランプの赤外域の光を、効率よく取り出すために開発された加熱源で、投入電力の85％以上が熱に変換され、非常に高効率なエネルギー源です。 ハロゲンランプヒータによる加熱は、フレキシビリティとコントロール性に富み、ほかの熱源にない優れた特徴を有し、半導体・LCD等の電子デバイス製造プロセス、自動車部品加熱、CFRP等の樹脂素材加熱など、さまざまな産業分野にてウシオの熱処理システムが適用されています。
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 2013 |
プリンティング市場向けハロゲンヒーター |
ハロゲンランプが放射する光を熱として利用したのがハロゲンヒータです。 コピー機及びLBP（レーザービームプリンター）のトナー定着用途として長年の実績があり、近年ではインクジェットプリンター、オフセット印刷機（枚葉機、輪転機）向けにも幅広く展開しています。 また、エナジースター等の環境規制に適した、ユーザーのご要望にお応えするカスタム対応が可能です。 |
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 2021 |
エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット |
エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。
希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ（誘電体バリア放電）が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス（希ガス）の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態（Xe）となります（エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります）。このエキシマ状態から元の状態（基底状態）に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。
表面処理用エキシマ照射装置のご紹介
■取扱説明書や仕様書はこちら（会員登録が必要です） |
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 2021 |
LED方式平行光UV照射ユニット UV-LED Multi |
「LED方式多目的平行光ユニット」は、ウシオ独自のLED光学技術を用いて作られた、 i,h,g線それぞれを点灯・調光制御可能な平行光光源です。様々なアプリケーションにて、 LED光を用いた、新たなプロセス実現の研究・開発にて、大いに貢献します。 |
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 2021 |
各種製造プロセス向けUV-LED照射装置 |
ウシオのUV-LEDは高照度、高積算光量、長寿命、低電力、瞬時点灯/瞬時消灯を実現。 弊社はこれまで培った光学技術や冷却技術を用いた自由度のある設計が特徴です。 電源や制御部を含めたトータル提案を行い、紫外線に関わるあらゆる問題を解決するシステムを提供させて頂きます。 |
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 2021 |
ウシオのレーザーモジュール |
レーザーに様々な機能を付加したレーザーモジュール製品をラインナップしています。 またスタンダード製品をベースにしたカスタムにより最適なソリューションを提供いたします。 |
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 2021 |
EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) |
半導体業界では、より高性能でコンパクト、更に低消費電力の半導体の実現に向け、超微細化露光技術の開発が進められています。その中で有力視されているのが波長13.5nmのEUV(Extreme Ultraviolet)光による「EUV露光」です。 ウシオは、これまで培ってきたEUVの研究・開発実績を活かし、EUV露光用のマスク検査装置向けを始め、各種開発用途向けのEUV Xe DPP およびEUV Sn LDP光源の開発を行なっています。 |
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 2021 |
検査用光源ユニット「arctruth （旧オプティカルモデュレックス）」 |
“見たいものが正確に見える”ことが必須の検査プロセスにおいて、特に「検査のプロフェッショナルユース」をコンセプトとした光源ユニットです。
【この製品は、アドテックエンジニアリングの製品です】
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 2021 |
多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 |
Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm～330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。 |
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 2021 |
露光装置用光源ユニット 「マルチライト」 |
均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
【この製品は、ウシオライティングの製品です】
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 2021 |
印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」 |
ウシオのUniJetシリーズは、デジタルプリンティング市場の厳しい要求を満たすために設計・開発されたUV-LEDモジュールです。 UniJetシリーズは、従来の標準的なUVランプの代替として求められていた理想的な光源です。 水冷、空冷、調光の様々な機能によって、お客様が求める仕様やニーズにお応えします。 |
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 2022 |
可視化用シートビームレーザー光源 |
赤色レーザーダイオードの光を直接用いた新発想の流体可視化用ハイパワーシートビームレーザー光源です。 高速度カメラとの組合せで、流速の空間分布を得ることができます※1。 レーザーダイオードの光を直接使うので、従来使用されているDPSSレーザー※2に比べ、ハイパワーながら低価格、低消費電力を実現しました。 自動車、航空機はもとより、建設、空調機器、半導体製造装置、医療機器等においても、空間的な流れの理解・把握はエンジニアリング上欠かせないものとなっています。 ※1 解析方法により、 PIV (Particle Image Velocimetry), PTV (Particle Traking Velocimetry) と呼ばれる流体解析に広く使われる手法です。 ※2 Diode Pumped Solid State。波長変換による可視光域レーザーです。 |
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| 2022 |
ウシオのレーザーモジュール |
レーザーに様々な機能を付加したレーザーモジュール製品をラインナップしています。 またスタンダード製品をベースにしたカスタムにより最適なソリューションを提供いたします。 |
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| 2022 |
検査用光源ユニット「arctruth （旧オプティカルモデュレックス）」 |
“見たいものが正確に見える”ことが必須の検査プロセスにおいて、特に「検査のプロフェッショナルユース」をコンセプトとした光源ユニットです。
【この製品は、アドテックエンジニアリングの製品です】
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 2022 |
ライトガイド式 画像処理用ライン光源 |
・ドキュメント複写機で採用、実績のあるスキャナー用光源を応用。画像処理、特殊照明用光源として最適です。 ・光学シミュレーションに基づいた特殊プリズム加工をライトガイドに施すことでご要望に応じた配光をご提供します。 ・用途や目的、サイズに合わせた形状検討が可能です。 ・ライドガイドを含め、全て内製設計ですので、ちょっとした試作や仕様変更にフレキシブルに対応可能です。 |
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| 2023 |
ウシオの光加熱（サーマルプロセス）ソリューション |
ウシオのサーマルプロセス向け光加熱製品（ハロゲンランプヒータ、フラッシュランプ、LEDユニット）および関連技術をご紹介しています。 |
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| 2023 |
ウシオのレーザーモジュール |
レーザーに様々な機能を付加したレーザーモジュール製品をラインナップしています。 またスタンダード製品をベースにしたカスタムにより最適なソリューションを提供いたします。 |
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 2023 |
セキュリティ用照明 |
「安全」をキーワードに防災、防犯に貢献する照明機器として、工場の外周監視、夜間の施設監視、交通監視といったセキュリティ用途や、動植物の生態監視に利用される赤外線投光器をはじめ、注意を喚起する警告灯などを取りそろえています。
【この製品は、ウシオライティングの製品です】 |
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 2038 |
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」 |
ウシオでは、サーバーやＰＣ、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。
【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ ・基板特有の歪に対応したアライメント技術 |
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