ライトエッジ No.24
各社との共同研究成果を含む学会発表、専門誌への投稿、さらに共同研究で関連した他社論文発表で特に関係の深いもの、また、ウシオで開催された講演会などをご紹介しています。
（2002年04月）
- 加熱・乾燥
- 半導体
2001 International Conference on Solid State Devices and Matelials,
Extended Abstracts of the 2001 International Conference on Solid State Devices and Materials,Tokyo,2001,pp.182-183
Flash Lamp Anneal Technology for Effectively Activating Ion Implanted Si
- 加熱・乾燥
- 半導体
2001 International Conference on Solid State Devices and Matelials,
Extended Abstracts of the 2001 International Conference on Solid State Devices and Materials,Tokyo,2001,pp.520-521
Novel PZT Crystallization Technique by Using Flash Lamp for FeRAM Embedded
LSIs and 1Tr FeRAM Devices
関連論文発表
2001 International Conference on Solid State Devices and Matelials
High-Performance Low-k Dielectric using Advanced EB-Cure Process
