자주 묻는 질문/제품 소개

엑시머 램프/엑시머 조사 유닛

• 사용시 차광이 필요합니까?

  172nm 파장은 공기중에서 급속히 약해질 수 있습니다. 또한 더 긴 파장의 빛들은 172nm의 약 100분의 1의 강도를 방출합니다. 이 램프의 빛은 10cm 거리에서 부상 없이 볼 수는 있지만 램프가 켜진 상태에서 작업을 할 때에는 반드시 눈 보호 장구를 착용하십시오.

• 요구되는 N2의 순도가 최소 99.99%인 이유는 무엇입니까?

  N2의 순도가 낮을 경우 램프 하우징 내의 산소와 오존 농도가 증가합니다. 결과적으로, 방사 발산 강도가 감소되고, 거울에 손상을 주게 되어 램프의 사용 수명을 짧게 만듭니다.

• 오존 배출은 어떻게 해야 하나요?

  종종 드래프터에서 사용되며 덕트를 통해 배출합니다. 배출할 때에는 구체적 요구사항을 충족하는지 확인하십시오. 이는 또한 퍼지 가스의 배출에도 적용됩니다. 적절한 배출을 할 수 없는 경우에는 오존 필터가 있는 배출 유닛의 사용이 가능합니다. 이 경우 오존 필터가 있는 배출 유닛을 통해 대기중으로 배출하는 것이 가능합니다. 자세한 사항은 제공된 설치 사전 유의사항을 참조하세요.

• 공기중에서 클리닝 효과를 얻을 수 있나요?

  클리닝 성능은 목표물에 닿는 조사의 강도와 목표물 표면의 활성 산소 농도에 따릅니다. 갭이 너무 큰 경우 빛이 목표물에 닿지 못하고 클리닝이 되지 않습니다. 갭과 조사 강도사이의 연관성을 보여주는 다이어그램이 다음 페이지에 있습니다.

• 최적의 산소 기압과 갭은 무엇인가요?

  엑시머 등의 클리닝 효과는 조사되는 물질에 영향을 받기 때문에, 물질을 매칭하는 최적의 매개변수를 결정할 필요가 있습니다. 글래스 기판의 클리닝을 위한 매개변수는 참고용으로 주어집니다.

• 클리닝은 어떻게 평가할 수 있나요?

  가장 일반적인 방법은 물방을 이용해 물과 소재 사이의 접촉 각을 측정하는 것입니다. 간단하게 확인하는 방법으로는 표면에 입김을 불어 흐려지는 정도로 판단하고 Dyne펜을 사용하는 것입니다. 위의 방법들이 충분하지 않으면 X 레이 광전자 분광법을 사용해 분자 수준의 젖음성을 결정할 수 있습니다.