Customer support

Setup / Trouble shooting / 개조

Examples of Modification

• Wavelength modification (from ultraviolet to visible light)

• Modification of work size (from 6 inches to 8 inches)

• Change of work material (from Si to SiC, GaN, etc.

• Adaptation for online operation

• Performance enhancement (software modification, etc.)

• Retrofits

우시오 장치의 전원수리 Service (Power supply Repair)

저비용 단납기 대응

한국우시오에서 1차대응 함으로써 저비용및 단납기로 대응하고 있습니다.

*표준납기
1. Invertor module : 4주 +/- 2주
2. ODF, 광배향기,UX-1,2,3,4,5 : 7주 +/-2주

Power supply 수리가능모델 　 PDF（0.02MB）

172nm 조도계 검교정 Service

정기적 검교정으로 불량발생방지

EUV(172nm)세정기의 석영창 열처리 ( Quartz Glass Annealing ) Service

석영창 열처리개요

장시간 자외선노출(172nm)등에 의한 결정조정이나 내부응력제거를 함으로써 Micro crack 및 뒤틀림 에의한 석영창의 파손을 미연에 방지하여 사용년한을 연장할수 있습니다.
따라서 장시간사용된 석영창은 Annealing후 연마를 함으로써 파손은 방지할수 있습니다.

석영창 열처리전후 비교사진

석영창(Quartz Glass) 연마(Polishing) Service

이물질의 퇴적에 의한 투과율의 저하와 Tact time up (Through put) 저하를 개선합니다.

석영창(Quartz Glass) 연마전후 비교사진

연마 검사성적서(투과율 전후비교) 　 PDF（0.25MB）

EUV(172nm)세정기의 석영창(Quartz Glass) 용접(Welding ) Service

석영창 용접서비스 개요

석영창의 장,탈착등 취급과정에서 파손된경우 이를 특수용접을 통하여 재사용가능하게 복원하는 서비스입니다.

석영창 용접 전후 비교사진