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半導体
シリコンウェハーの加熱や、薬液・ガスの加熱がしばしば必要になる半導体製造プロセスで、ハロゲンランプヒータは業界標準の熱源として使用されています。
半導体生産プロセスでの光加熱のイメージ
熱処理
エピタキシャル、RTP
エピタキシャル成長やRTPは、非常に高い温度に、高速で加熱する必要があります。
DEGAS
脱ガス、水分除去
プロセスの前にシリコンウェハー表面に付着する微量な水分や有機ガスを加熱して蒸発させます。
反応
CVD、エッチング
膜の生成や、膜の溶解除去に必要なエネルギーをハロゲンランプヒータの近赤外線光によって与えます。
FPD/PV
液晶ディスプレイ、OLED、太陽電池のように、大きな一枚板のガラス基板を加熱するプロセスで熱源としてハロゲンランプヒーターが使用されています。
FPD/PV生産プロセスでの光加熱のイメージ
DEGAS
脱ガス、水分除去
プロセスの前にガラス基板表面に付着する微量な水分や有機ガスを加熱して蒸発させます。
反応
CVD
膜の生成や、膜の溶解除去に必要なエネルギーをハロゲンランプヒータの近赤外線によって与えます。
製品
自動車
自動車のウィンドウグラスの塗装を乾燥させる加熱、ベアリングをはめ込むための焼き嵌めなど、自動車部品の製造にハロゲンランプヒータが使用されています。
最近では燃料電池自動車の樹脂製燃料タンク製造でも利用が進んでいます。
自動車生産プロセスでの光加熱のイメージ
乾燥
ウィンドウグラスのコーティング乾燥
自動車のウィンドウグラスの紫外線防止膜を塗装し乾燥させるのにハロゲンランプヒータの近赤外線を利用します。
焼き嵌め
ベアリング挿入前の下穴加熱
部品をはめ込む穴を加熱して広げる、いわゆる「焼き嵌め」に、ハロゲンランプヒータの強力な近赤外線を利用します。
樹脂圧接
圧接前の突合せ部加熱溶融
自動車部品で多く使われる樹脂部品の組立で、部品どうしをハロゲンランプヒータの近赤外線で加熱し溶かすことで圧接します。
