ウシオライティングが8 インチ対応のプロキシミティ露光装置の販売を開始

同方式としては最高クラスの解像力3μmL/S を実現、電子部品をはじめとした幅広い用途のTCO 低減に貢献する露光装置

ウシオグループの一員であるウシオライティング株式会社は、パワーデバイスやSAW フィルター、水晶振動子などの電子部品製造向けのプロキシミティ露光機「PXS シリーズ」を2023 年8 月から販売開始します。
 

詳しくは、ウシオライティングのWebサイトをご覧ください。
 

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