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  • 投影露光装置「UX-4シリーズ」
  • プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」
  • マスクアライナー「UX-1シリーズ」
  • ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」
  • EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け)
  • 紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード®」
  • チャージイレース装置
  • スポットUV照射装置 「スポットキュア®シリーズ」
  • 理化学機器用光源ユニット「オプティカルモデュレックス」
  • 検査用光源ユニット「arctruth」
  • 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」
  • 露光装置用光源ユニット 「マルチライト」
  • 光化学反応用実験装置
  • 超高圧UVランプ(~500W)
  • 超高圧UVランプ(500W~35kW)
  • クセノンショートアークランプ(~500W)
  • データプロジェクタ用ランプ
  • コンパクトクセノンランプ
  • Deep UVランプ
  • ハロゲンランプヒータ
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