초고압 UV 램프(500W~35kW)
- 노광
- MEMS, 전자부품
- 반도체
- 액정 디스플레이
- 인쇄회로 기판 및 PKG
점점 다양해지는 요구에 대응하기 위해 기기 제조업체들과 공동으로 개발한 이 리소그래피 UV 램프는 사용자들의 신뢰와 더불어 큰 갈채를 받고 있습니다.
우리의 폭넓은 500 W ~ 35kW급 램프 라인업에서 생산성을 지원하고 생산량을 개선할 수 있는 최적의 조사 솔루션을 제공할 수 있습니다.
우리는 또한 귀사가 개발한 기기에 맞춘 램프도 개발할 수 있습니다.
최적화된 UV 파장의 포토리소그래피 광원
우시오의 초고압 UV램프는 세가지 자외선 파장 (436, 405, 및 365nm)을 안정적인 조사와 긴 수명을 가진 고강도 광원으로 효과적으로 활용하기 위해 개발되었습니다.
광학 시스템 성능을 최대화 시키는 점광원
램프의 아크 사이즈가 점 광원의 크기와 거의 같기 때문에 쉬운 발산으로 균일한 시준을 가능하게 합니다.
다양한 램프 출력으로 반도체, LCD, 컬러 필터, OLED, 터치 페널 및 기판 인쇄 등의 생산 분야에 이용 가능합니다.
소형(500 W급)에서 초대형(35kW)까지의 다양한 램프 사이즈로 기판 인쇄(리소그래피)에 이용 가능합니다.
고강도(고휘도)의 조명은 기존 시스템의 성능을 최대화시킵니다.
기존 장비의 처리량을 개선할 필요가 있을 때, 고강도 램프를 사용하면 생산성을 향상시킬 수 있습니다.* 어떤 시스템 제조업체의 제품은 변경이 필요할 수도 있습니다.
필요한 파장에 따라 램프 개발
우리는 새로운 기기를 개발할 때 고객의 요구를 가장 충족할 수 있는 램프를 개발합니다. 더 상세한 사항이 필요하시면 연락주세요.
UV 수명 특성
스펙트럼 분포
