AHAPS-SAM patterning

포토마스크를 통한 APS-SAM의 VUV 조사 이후의 형광 염료의 시각화. * AHAPS: N-(6-aminohexyl)-aminopropyltrimethoxysilane

[형광 이미지]
VUV 조사, 2분
N2 대기
10nm SiO2 (열 산화 막) / Si
형광 염료 TAMARA