紫外線（UV）/エキシマ/大気圧プラズマ照射装置

USHIO

　　

並べる（一括照射）

照射パターン 波長 照射方法 照射エリア 装置種類

Deep UV
マルチライト 詳しく見る

 硬める スキャン照射 一括照射 254,313,365,405 Φ135mm

  • Deep UV マルチライト

光配向 詳しく見る

 並べる スキャン照射 一括照射 200nm～600nm
※ブロード波長
※別途偏光波長域あり
スキャン：幅100mm～3,000mm
面光源：□80mm
・特注対応は要相談

  • R&D実験機　1.5kw

  • R&D実験機　6kw

  • 量産機照射器単体

  • 量産機照射器＋Stage