露光装置用光源ユニット 「マルチライト」

露光装置用光源ユニット 「マルチライト」
  • 露光
  • 半導体
  • 液晶・ディスプレイ

均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。


【この製品は、ウシオライティングの製品です】

・高平行度、高均一度のi線、h線、g線を照射可能
・フィルターを加えることで波長の選択が容易
・エアシャッターなどオプションも豊富
・電気以外のユーティリティが不要（500W以下）
露光用ランプハウス。アライナー用ランプハウスとして、主に以下の用途で使用されています。

半導体製造
半導体焼付、半導体マスク検査、ウェーハ周辺露光、ウェーハ全面露光、ウェハキズ検査

精密機器
CD光ピックアップ用レンズ接着、磁気ヘッド接着、ファイバーコーティング、電子部品接着、水晶発振子露光、TAB露光、FPC露光、大面積投影露光装置

その他
液晶アライナー、各種光学実験 など

250W シリーズ

光源ユニット・照射光学ユニット 外観図
【外観図.１】 照射径φ100の場合
【外観図.2】 照射径φ135、φ165、φ200の場合
仕様
照射光学
ユニット型式		 照射径
（φ）		 照度（mW/cm2 ) 照度均一度
（%）		 視角 照射方向 A B C D E F G H I 重量 外観図
II IG
PM25C-100 100 25以上 35以上 ±5 ±3.5° 任意 160 299 234 120 151 176 279 86 34 約16kg 1
PM25C-135 135 14以上 20以上 ±5 ±2.6° 90度ごと
4方行		 223 432 330 180 239 225 296 113 96 約17kg 2
PM25C-165 165 9以上 13以上 ±5 ±2.2° 253 507 405 215 314 270 296 143 96 約18kg 2
PM25C-200 200 6以上 8以上 ±5 ±1.8° 303 607 505 265 414 325 296 173 96 約18kg 2

※照度データの数値は当社製受光器（II:UVD-365PD、IG:UVD-405PD）で測定したものです。（初期保障値）
 

500W シリーズ

光源ユニット・照射光学ユニット 外観図
【外観図.1】 照射径φ100 の場合
【外観図.2】 照射径φ135、φ160、φ200の場合
【外観図.3】 照射径φ220 の場合
仕様
照射光学
ユニット型式		 照射径
（φ）		 照度（mW/cm2 ) 照度均一度
（%）		 視角 照射方向 A B C D E F G H 重量 外観図
II IG
PM50C-100A1 100 72以上 106以上 ±5 ±4.4° 任意 503 203 144 229 145.5 169.5 143 167 約25kg 1
PM50C-135A1 135 40以上 58以上 ±5 ±3.2° 下方照射 574 274 225 71 200 271 82 φ208 約30kg 2
PM50C-160A1 160 28以上 41以上 ±5 ±2.8° 612 312 225 88 235.5 323.5 120 φ232 約30kg 2
PM50C-200A1 200 18以上 26以上 ±5 ±2.2° 632 332 225 181 295.5 476.5 120 φ276 約30kg 2
PM50C-220A1 220 15以上 21以上 ±5 ±2.0° 607 307 240 203 320 560 182 φ294 約30kg 3

※照度データの数値は当社製受光器（II:UVD-365PD、IG:UVD-405PD）で測定したものです。（初期保障値）

搭載光源

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固体光源
（LEDマルチライト, RGBレーザ）

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