ｉ線

【英語名】 i-line

【読み方】 あいせん

ｉ線とは、波長365nmの水銀のスペクトル線のこと。
水銀は多くのスペクトル線を持つが、紫外域・可視域・近赤外域における強いスペクトル線として、253.652nm、296.728nm、312.566nm、365.015nm、404.656nm、407.781nm、434.750nm、435.835nm、546.074nm、576.959nm、579.065nm、690.716nm、1013.98nmがある。このうち、紫外域の波長365.015nm≒365nmのスペクトル線をi線と言う。
この波長を利用したステップアンドリピート（step and repeat）方式の露光装置をi線ステッパなどと言う。
→スペクトル線を参照。

• スペクトル線
• 露光装置
• ステッパ

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