ハードコンタクト露光
【英語名】 hard contact exposure method
【読み方】 はーどこんたくとろこう
解説
ハードコンタクト露光とは、マスク（レチクル）とワーク（試料）を接触させて露光する際に、その接触度合を強くしたコンタクト露光（接触露光）のこと。
ハードコンタクト露光は、接触を強固に行なうために、マスクとレチクルの隙間の空気を排除し、大気圧により圧着（真空圧着と言うこともある）することから、真空コンタクト露光と呼ぶこともある。
→コンタクト露光、真空コンタクト露光を参照。
関連用語
