ハードコンタクト露光

ハードコンタクト露光とは、マスク（レチクル）とワーク（試料）を接触させて露光する際に、その接触度合を強くしたコンタクト露光（接触露光）のこと。
ハードコンタクト露光は、接触を強固に行なうために、マスクとワークの隙間の空気を排除し、大気圧により圧着（真空圧着と言うこともある）することから、真空コンタクト露光と呼ぶこともある。
→コンタクト露光、真空コンタクト露光を参照。