ナノマシニング

【英語名】 nano machining

【読み方】 なのましにんぐ

ナノマシニングとは、nmオーダーの加工寸法のデバイスを実現するための加工技術のこと。
mmからμmオーダーのマイクロマシニングに対して、nmオーダーのナノマシニングは、分子レベルの制御によって微細構造を作る。原子間力顕微鏡（AFM）、走査型トンネル顕微鏡（STM）、自己組織化プロセスなどを応用し、原子を積み上げてナノスケールの極微細構造をつくり、nmオーダーの微細構造を実現し、超高感度なセンサや高速応答するセンサの実現を可能にするナノマシン、ナノメカニクスを製作する。
→マイクロマシニングを参照。

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