ロールtoロール投影露光装置

【英語名】 projection exposure system with roll to roll carrier

【読み方】 ろーるつーろーるろこうそうち

ロールtoロール投影露光装置とは、ワークの搬送系にロールtoロール搬送系を備えた、投影露光装置のこと。
TABテープ（テープキャリア、フイルムキャリアとも呼ばれる）やフレキシブルプリント基板などの屈曲性基板に銅箔の配線パターンを形成し、これにデバイスを実装する方法がある。このTABテープやフレキシブルプリント基板などの配線パターンを形成する露光工程で、高スループット化・高密度化・低ダメージ化が可能な投影方式の露光機能を備え、これに完全自動化・省力化を図るためにロールtoロール搬送系を備えたものがロールtoロール投影露光装置である。
→TAB露光装置を参照。

※TABテープは、幅35mm～105mm程度のポリイミドなどの薄いフィルム上に銅箔で回路を形成した、ICパッケージの１種であり、ポリイミドを基材とするテープ状配線基板のことで、屈曲性を持ち、一般にロール状に巻かれ供給される。

※下記の図をクリックすると拡大します。

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