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172nm Excimer System |
12인치 웨이퍼 반도체용으로, 엑시머 광조사기를 탑재한 단동(Stand-Alone)형 장치입니다.
FOUP를 구비하여, 레시피(recipe) 설정에 따라 자동으로 엑시머광을 웨이퍼에 조사함으로써 Ashing 프로세스등을 시행합니다. |
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과학용 광원 유닛 옵티컬 Modulex |
이 데스크탑 광원 유닛은 단순한 평행 IR, UV 및 가시광선을 제공하며 분광법 및 태양 전지 평가에 이상적입니다.
모든 모델은 높은 평행성, 고출력 광원 실험용으로 조정이 필요 없는 광학 램프 축을 갖고 있습니다. |
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