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  • 광범위 투영 정렬기 UX-4 시리즈
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  • 수동 타입 접촉/근접 정렬기 UX-1시리즈
  • 롤투롤 리소그래피 기구 UFX 시리즈
  • EUV 광원(포토 마스크 검사 및 다양한 기술 개발용)
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