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  • 저압 아말감 램프
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  • 오존제거용 리액터
  • 전원캐비넷
  • 172nm Excimer System
  • 대형 필드 스테퍼 UX-5 시리즈 UX-7 시리즈
  • 광범위 투영 정렬기 UX-4 시리즈
  • 롤투롤 리소그래피 기구 UFX 시리즈
  • EUV 광원(포토 마스크 검사 및 다양한 기술 개발용)
  • 엑시머 램프/엑시머 조사 유닛
  • 점 UV 조사 유닛Spot Cure 시리즈
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