광범위 투영 정렬기 UX-4 시리즈

광범위 투영 정렬기 UX-4 시리즈
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이 투영 정렬기는 우리의 특별한 넓은 영역 프로젝터 렌즈 기술, 광원 및 우시오가 오랜 동안 개발해온 광학 기술을 사용하고 있습니다. 마스크를 건드리지 않고 8인치 까지 웨이퍼의 원샷 노출을 제공합니다. 큰 피사계 심도는 비평면 웨이퍼의 적절한 노출을 가능하게 해 근접 정렬기로는 불가능했던 높은 생산성과 생산량을 달성합니다.
【구성 기술】
- 세계 제일의 초고압 UV 램프 포함
- 우리의 조사 광학 시스템은 높은 수준의 균일성을 자랑합니다.
- 경쟁자가 없는 넓은 영역 프로젝터 렌즈

마스크 손상 없음
높은 생산성
3차원 노출
두꺼운 필름 레지스트 지원
근접 정렬 마스크 전환 가능
MEMS
수정 발진기
SAW 필터
RF 기기
센서
잉크젯 헤드
다이오드
IGBT
전력 반도체
사이리스터
MOS-FETs
LEDs
파워 앰프
MMICs
BAW 필터
가속 센서
유도자
수동 소자
태양전지 등

모델 목록

설치된 광원

Note Regarding Exportation

This equipment (or technology) may be subject to security controls under the provisions of the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law, and in order to export the equipment or technology (or to conduct transactions for the purpose of providing the technology to a non-resident or foreign country), it may be necessary to obtain an export permit (or permission to implement service transactions) from the Minister of Economy, Trade and Industry. Be sure to contact us in advance for confirmation.